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光催化氧化设备内，高能紫外线光束与空气、TiO2反应产生的臭氧、·OH(羟基自由基 )对恶臭气体（硫化氢、氨气、硫醇）进行协同分解氧化反应，同时大分子恶臭气体（硫化氢、氨气、硫醇）在紫外线作用下使其链结构断裂，使恶臭气体物质转化为无臭味的小分子化合物或者完全矿化，生成水和CO2，达标后经排风管排入大气，整个分解氧化过程在1秒内完成。
1、臭氧的产生：
利用高能紫外线光束，使空气中产生大量的自由电子，这些电子大部分能被氧气所获得，形成负氧离子（O3－），负氧离子不稳定，很容易失去一个电子而变成活性氧（臭氧）。臭氧是高级氧化剂，既可以氧化分解有机物和无机物，对主要臭气氨、三甲胺、硫化氢、甲硫醇、甲硫醚、二甲二硫、二硫化碳、苯乙烯等，都可以与臭氧发生反应，在臭氧的作用下，这些恶臭气体由大分子物质被分解为小分子物质，直至矿化。臭氧产生过程如下式所示：
UV＋O2→O-+O＊(活性氧)
O＊+O2→O3(臭氧)
2、·OH (羟基自由基)的产生：
光催化废气处理设备同时可利用紫外光束与纳米级TiO2的作用产生·OH，溶于水中的臭氧也可产生·OH。·OH (羟基自由基)是***具活性的氧化剂之一，氧化能力明显高于普通氧化剂，与恶臭气体反应，矿化程度更高。
应用领域：
橡胶厂、污水处理厂、垃圾厂、制药厂、炼油厂、化工厂、屠宰厂、养殖厂、饲料加工厂、造纸厂、印刷厂、印染厂、塑料再生厂、实验室等恶臭气体的脱臭净化处理。
